(812) 449-89-46
многоканальный
Заказать звонок

190020, Санкт-Петербург,
ул. Бумажная, 18, офис B-203
Схема проезда

Технологическое оборудование


Газовая инжекционная система - OmniGIS™

Производитель:

Omniprobe

Наличие:

Способы доставки:

Способы оплаты:

Есть вопросы по товару?
(812) 449-89-46
Заказать звонок

Подробное описание

OmniGIS® представляет собой инновационную комплексную газовую инжекционную систему, разработанную компанией Omniprobe®, Inc. для электронных и ионных микроскопов и позволяющую оперировать несколькими металло-органическими соединениями как по отдельности, так и в различных комбинациях. При этом выход индивидуального газа или их смеси производится через единичную иглу-инжектор, позволяя создавать микро и нано- структуры на обрабатываемой поверхности.

Программное обеспечение системы OmniGIS® обеспечивает обратную связь и контроль трех источников металлоорганических соединений для напыления и/или травления и двух дополнительных источников продувочных газов и их режимов. При этом система оккупирует всего лишь один порт электронного микроскопа. Стандартные контейнеры-тигли, содержащие жидкие или твердотельные металлоорганические соединения, монтируются к кожуху газового инжектора снаружи, что позволяет производить их замену легко и быстро, без перенастройки и юстировки системы.

Пользователь может самостоятельно варьировать рецептуру сложных много-компонентных газовых смесей и сохранять эту рецептуру в памяти системы, чтобы их можно было использовать снова. То же относится и к режимам напыления и травления. Газовая инжекционная система OmniGIS® совместима как с основными металлоорганическими соединениями вольфрама, платины и оксидов, так и с основными компонентами,используемыми для травления. Уникальной особенностью газовой инжекционной системы OmniGIS® является возможность перемещать систему с помощью встроенных моторов, что позволяет изменять расстояние от окончания иглы инжектора до поверхности напыления или травления в процессе работы, тем самым обеспечивая еще большее разнообразие рабочих режимов.

Газовая инжекционная система OmniGIS® имеет многочисленные применения в промышленности и науке. Основные направления включают приготовление образцов для трансмиссионной электронной микроскопии ТЭМ; напыление, травление и преобразование различных поверхностей и интегральных схем; электронную литографию;напыление слоев толщиной в один атом в любой вакуумной камере (ALD); позиционирование нанотрубок; создание плазмонных наноструктур и электрическое тестирование наноструктур.